Вакуумна помпа, която използва повърхност с ниска температура за кондензиране на газ, известна още като кондензна помпа. Криопомпата е вакуумна помпа с най-ниско крайно налягане и най-висока скорост на изпомпване за получаване на чист вакуум. Той се използва широко в изследванията и производството на полупроводници и интегрални схеми, както и изследване на молекулярни лъчи, оборудване за вакуумно покритие, инструменти за анализ на вакуумна повърхност, йонни имплантори и космическа симулация. устройства и др.
Принцип на изпомпване Криопомпата е оборудвана със студена плоча, охлаждана до много ниска температура с течен хелий или хладилник. Той кондензира газа и поддържа налягането на парите на кондензата под крайното налягане на помпата, така че да се постигне изпомпващ ефект. Основните функции на нискотемпературното изпомпване са нискотемпературна кондензация, нискотемпературна адсорбция и нискотемпературно улавяне. ① Нискотемпературна кондензация: газовите молекули кондензират върху повърхността на студената плоча или върху слоя кондензиран газ, а равновесното налягане е основно равно на налягането на парите на кондензата. Когато изпомпвате въздух, температурата на студената плоча трябва да бъде по-ниска от 25K; при изпомпване на водород температурата на студената плоча е по-ниска. Дебелината на нискотемпературния кондензационен и екстракционен кондензационен слой може да достигне около 10 mm. ②Адсорбция при ниска температура: Молекулите на газа се адсорбират върху повърхността на адсорбента, покрит върху студената плоча с дебелина на монослой (10-8 cm). Равновесното налягане за адсорбция е много по-ниско от налягането на парите при същата температура. Ако налягането на парите на водорода е равно на атмосферното налягане при 20K, равновесното налягане на адсорбция е по-ниско от 10-8 Pa, когато активният въглен с 20K абсорбира водород. Това прави възможно извършването на изпомпване чрез криогенна адсорбция при по-високи температури. ③Криогенно улавяне: Газови молекули, които не могат да бъдат кондензирани при температурата на екстракция, се погребват и адсорбират от нарастващия слой кондензиращ газ.
Най-общо казано, крайното налягане на помпата е налягането на парите на кондензирания газ при температурата на студената плоча. Когато температурата е 120K, налягането на парите на водата вече е по-ниско от 10-8 Pa. Когато температурата е 20K, с изключение на хелий, неон и водород, налягането на парите на други газове също е по-ниско от {{3} } Pa. Въпреки това, поради различните температури на изпомпвания контейнер и криогенната студена плоча, крайното налягане на помпата е по-високо от налягането на парите на кондензата. За съд при стайна температура, с криопанел от 20K, крайното налягане на помпата е около 4 пъти налягането на парите на кондензата.