Според метода на подаване на средата, криопомпите се делят на следните типове:
Криогенна помпа за резервоар за съхранение: нискотемпературна среда (течен хелий) се инжектира директно в резервоара за съхранение в помпата, за да кондензира газа за постигане на целта на изпомпване.
Предимствата на криопомпата за резервоар за съхранение са, че помпата е малка по размер, без вибрации, без шум и лесна за работа.
Недостатъкът на криогенната помпа за резервоар за съхранение е, че експлоатационните разходи са високи, времето за използване на всяко пълнене на нискотемпературната среда е кратко, а вакуумната система, която трябва да работи непрекъснато за дълго време, трябва периодично да попълва работата среда и е ограничена от условията на захранване на нискотемпературната среда.
Процесна криопомпа: Охладителната тръба на криопанела в помпата е свързана към хладилния разширител и криогенната среда (газ хелий) се подава към криопомпата през външния тръбопровод, абсорбира топлината на криопанела и след това се връща към хладилния компресор за образуват затворен цикъл. Обемът на помпата е огромен, тръбопроводът е сложен, а загубите при охлаждане на тръбопровода са големи.
Предимството на процесната криопомпа е, че има голяма охлаждаща мощност и е най-подходяща за отстраняване на атмосферен обем или голяма вакуумна камера.
Малка хладилна криопомпа: Малката хладилна криопопомпа със затворен цикъл се състои от корпус на нискотемпературна помпа, криопанел за извличане на въздух, радиационна екранираща плоча, хладилник и компресор.
Най-голямата разлика между криогенната помпа на малкия хладилник и криогенната помпа на процеса е, че първата и втората студена глава на хладилника са директно свързани към радиационния екран и студената плоча, а потокът в свързващия тръбопровод между хладилник и компресорът е с нормална температура, висока (или ниска) температура. ) газова среда под налягане, няма проблем с транспортирането на нискотемпературна среда и има предимствата на криопомпата за процес и криопомпата за резервоар за съхранение. В момента това е идеална чиста помпа с ултра висок вакуум.
Малките хладилни криопомпи се използват широко в подготовката на тънък филм, технологията на микроелектрониката, физиката на високата енергия, оборудването с малки пръстеновидни матрици и други индустриални области.